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無機分析

組成分析と構造解析は、電子材料・半導体・金属・セラミックス・セメント・触媒など無機材料の元素分析と、化合物組成の解析、結晶構造・組織の解析、熱的性質の解析などを、広範囲におこなっています。とりわけ、無機化合物に対する深い知識と試料の高度な前処理技術をベースに、材料をマクロレベルから分子レベルにいたるまで精密に解析し、新素材開発に役立つキャラクタリゼーションをすすめていることが、大きな特徴です。

超微量分析は、最新鋭の分析機器と緻密な分析化学手法を用いて、試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、純度評価や超微量不純物の分析を行います。クリーンルームテクノリジーを活用した高純度試料の前処理をベースに、高感度・高精度の分析をすすめ、半導体製造用薬品・有機電子材料などにとって、なくてはならない役割を担うとともにクリーンルームの環境評分析もお引き受けしています。

装置名 略号 メーカー 型番
組成分析と構造解析
蛍光X線分析装置 XRF リガク ZSX Primus
全反射蛍光X線分析装置 TXRF リガク NANOHUNTER
試料水平型回転対陰極式多目的X線回折装置 XRD リガク RINT-TTRIII
小角X線散乱装置 SAXS リガク NANO-Viewer
単結晶X線構造解析装置   リガク RASA-7R
電子線マイクロアナライザー FE-EPMA 日本電子 JXA-8530F
透過型電子顕微鏡 TEM 日立ハイテクノロジーズ HT7700
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM 日本電子 JSM-7000F
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM
日立製作所 S-4800
走査型電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-7800F
低真空走査電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-6460LA
電子後方散乱回折 EBSD TSL OIM
透過電子後方散乱回折 t-EBSD TSL OIM
高感度示差走査熱量計(熱流束型) DSC 日立ハイテクサイエンス X-DSC7000
示差走査熱量計 DSC SIIナノテクノロジー DSC7020
示差熱分析熱重量同時測定装置 TG/DTA SIIナノテクノロジー TG/DTA7300
示差熱分析熱重量同時測定装置 TG/DTA SIIナノテクノロジー TG/DTA6300
無機元素分析法(C、S) EA LECO CS844
無機元素分析法(O、N、H) EA LECO TCH-600
超微量分析
高分解能型誘導結合プラズマ質量分析計 HR-ICP-MS Thermo Fisher Scientific ELEMENT XR
誘導結合プラズマ質量分析装置 ICP-MS Agilent technologies 8800
誘導結合プラズマ質量分析装置 ICP-MS PerkinElmer Elan DRCII
多機能走査型X線光電子分光装置 VersaProbe アルバック・ファイ社 PHI5000 VersaProbeII
マルチ型ICP発光分光分析装置(ICP-AES) ICP-AES アジレント・テクノロジー Agilent 5110 VDV
マルチ型ICP発光分光分析装置 ICP-AES 島津製作所製 ICPE-9820
誘導結合プラズマ発光分光分析装置 ICP-AES SIIナノテクノロジー SPS3520UV
黒鉛炉原子吸光分析装置 FLAA 日立製作所 Z-2700
加熱気化全自動水銀測定装置   日本インスツルメンツ MA-2000
イオンクロマトグラフ−質量分析計 IC-MS サーモフィッシャーサイエンティフィック ICS-2100 + MSQ PLUS
イオンクロマトグラフ-質量分析計(IC-MS)(陽イオン分析システム) 陽IC-MS サーモフィッシャーサイエンティフィック ICS-6000型 + ISQ EC型
イオンクロマトグラフ(陰イオン分析システム) IC Diionex ICS-2100
ICS-2000
ICS-1500
ICS-1000
キャピラリー電気泳動質量分析計 CE/MS Agilent technologies CE:HP3D、MS:6140
加圧型マイクロ波分解装置 UltraWAVE マイルストーン ゼネラル  
マイクロ波試料前処理装置   アントンパール Multiwave PRO
加圧型マイクロ波分解装置
(Multiwave7000)
  アントンパール Multiwave7000
昇温脱離ガス質量分析計 TDS-MS 電子科学 TDS1200U

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