新しく開発される材料は、その特性と機能が発現する根拠を、ミクロの目で明らかにしなければなりません。そこに、材料の微小領域を対象とした局所分析の意義があります。有機・無機材料の局所分析は、電子線やイオンを使用する方法によって結晶構造や元素分析、さらに結合状態をナノメーターのレベルで解析しています。この情報と材料の特性・機能の関係を調べることから、新素材の可能性を明らかにし、その開発を大きく前進させます。
装置名 | 略号 | メーカー | 型番 |
---|---|---|---|
走査型プローブ顕微鏡法 | SPM | ブルカー製 | MultiMode8(NanoScope V) |
走査型プローブ顕微鏡法 (Dimension XR) |
SPM | ブルカージャパン | Dimension XR |
球面収差補正STEM | STEM | 日本電子 | JEM-ARM200F |
Cs(球面収差)補正STEM | STEM | 日本電子 | JEM-2100F |
電界放射型透過電子顕微鏡(Cs補正付属) | FE-TEM | 日本電子 | JEM-2100F |
透過型電子顕微鏡 | TEM | 日立ハイテクノロジーズ | HT7700 |
トリプルビーム(FIB-SEM-Ar)複合装置 | SIIナノテクノロジー | XVision200TB | |
トリプルビーム(FIB-SEM-Ar)複合装置の大気遮断対応 | VTD2500 | ||
電界放射形走査電子顕微鏡 | FE-SEM | 日本電子 | JSM-7000F |
電界放射形走査電子顕微鏡 | FE-SEM | 日立製作所 | S-4800 |
走査型電子顕微鏡 | SEM | 日本電子 | JSM-7800F |
低真空走査電子顕微鏡 | SEM | 日本電子 | JSM-6460LA |
電子後方散乱回折 | EBSD | TSL | OIM |
透過電子後方散乱回折 | t-EBSD | TSL | OIM |
集束イオンビーム加工観察装置 | FIB | 日本電子 | JIB-4000 |
集束イオンビーム加工装置 | FIB | 日立製作所 | FB-2000C |
クロスセクションポリッシャ | CP | 日本電子 | SM-09010 SM-09020 |
大気非曝露冷却クロスセクションポリッシャ | CP | 日本電子 | IB-09020CP |
回転式ミクロトーム | ライカマイクロシステムズ | HistoCore AUTOCUT R | |
TEMひずみ解析ソフト | PPA | HREM Research | |
TEM/STEMトモグラフィ | システムインフロンティア | ||
FIB、SEM、TEM大気遮断搬送機構 | |||
リモート立会いシステム |