Cs（球面収差）補正（STEM）

1. メーカー・型式

日本電子製     JEM-2100F

2. 原理・特徴

1. 電子プローブを形成するレンズの球面収差を補正することにより、非常に細く（0.1nm）かつ電流量が多い電子プローブが得られます。このプローブを用いることにより、高分解能でS/Nが高いデータを得ることができます。
2. 明視野および暗視野STEM像を測定することにより、試料の組織、組成分布、原子列の並びを調べられます。
3. 試料から発生する特性Ｘ線を検出することにより、0.2nm以下の分解能で組成（C〜U）とその分布を調べられます。
4. 試料との相互作用で失われた電子のエネルギーを調べることにより、軽元素（Li〜）を含む定性分析や、化学状態を調べられます。

	（a）光路図 （b）ビーム強度 （c）STEM像
図1：Cs補正STEMと従来STEMの比較

3. 性能

	（a）HAADF-STEM像 （b）ABF-STEM像と単位格子モデル （c）EELSマップ（Sr-M） （d）EELSマップ（O-K） （e）EELSマップ（Ti-L）
図2：Cs補正STEMの分析例（試料：SrTiO3）

4. 応用分野・分析例

• 半導体材料の各種界面の解析
• 金属・セラミックス材料の粒界の解析
• 触媒粒子の組成分析