M1402
PPA(TEMひずみ解析ソフト)
Strain Mapping using Peak Pairs Analysis
1. メーカー・型式
HREM Research製 PPA
2. 特徴
HREM Research社製 PPAは、高分解能TEM写真中の像強度ピーク位置を解析することで、結晶の局所ひずみをマッピングするソフトです。
3. 原理、概念図
- 高分解能TEM写真を測定します。試料の厚み変化や湾曲、フォーカス等が解析に影響します。
- 適切なフィルタを掛け、像強度のピーク位置を検出します。なお、TEM写真の像強度ピーク位置が原子列位置と直接関係していると仮定しています。
- ピークのペアを決定し、各点での変位を検出します。
- 歪が無いと考えられる部分をリファレンスとして、ひずみマップを作成します。
4. 測定データ例(アルミ合金中の析出物界面)
図1:(a)高分解能TEM写真、(b)、(c)、(d)ひずみマップ
5.適用例
- 結晶粒界、ヘテロ接合界面の解析