M210
FIB、SEM、TEM大気遮断搬送機構
グローブボックスを基点に各種大気遮断搬送機構を組み合わせることにより、FIB断面加工試料の各種SEM分析や、FIB薄片化試料の各種TEM分析を大気遮断条件下で行うことが可能となります。
システムの概要を下図に、各大気遮断搬送機構の仕様を表に示します。
図：システムの概要
| 装置 | 雰囲気 | 試料サイズ |
|---|---|---|
| グローブボックス | 不活性ガス | − |
| FIB大気遮断搬送機構 | 不活性ガス、真空 | Φ10mm×t7mm以下 |
| SEM大気遮断搬送機構 | 不活性ガス、真空 | Φ34mm×t20mm以下（EBSD測定：Φ12.5mm×t10mm以下） |
| TEM大気遮断搬送機構 | 不活性ガス、真空 | FIB薄片化試料 |
