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高感度EDSによる微小粒子の高解像度SEM-EDS元素マッピング

高感度EDS（Energy dispersive X-ray spectroscopy）検出器^*1は発生した特性X線を高効率且つ高感度に検出できるため、低加速電圧、低プローブ電流を用いることにより、高空間分解能で高解像度な元素マッピングを取得することができます。また、元素マッピングを短時間で取得できることから、試料への電子線ダメージの影響を最小限に抑えることも可能となります^*2。以下に微小粒子の評価事例を紹介します。

基材（C）上に分散した微小粒子（SiO₂）の表面SEM（Scanning electron microscope）像を図1に示します。次に、EDS元素マッピングを図2に示します。Oマップ、SiマップでSEM像と同等に微小粒子（100nmΦ程度）の分散状態を確認することができます。このような高解像度での元素マッピングは、微細な組織構造を有する材料などに対して有効な分析手法となることが期待されます。