パワー半導体とは電気自動車で用いられる大電流を制御するために用いられる半導体です。電気自動車の普及のためには、高性能なパワー半導体の開発が不可欠です。
弊社は極微の世界を可視化する収差補正STEMでその開発を強力に支援致します。
分析項目
| 分析項目 | 使用機器・手法 | 分析事例 |
|---|---|---|
| 表面形状 | SPM、SEM | SPMによるSiウエハの表面粗さ測定 |
| 表面組成・化学状態 | XPS、SEM | EDS制限視野マッピング測定 |
| デバイスの表面汚染の分析 | ||
| 多層構造 | AES、XRD | |
| 面内回折法による表面構造解析（1） | ||
| 面内回折法による表面構造解析（2） | ||
| 多孔質low-k膜ポアサイズ分布解析 | ||
| 断面構造・組成分析 | Cs(球面収差係数)補正STEM | |
| Cs補正STEMによる各種材料観察 | ||
| 断面層構造 | TEM、AES、RAMAN | EELSスペクトルラインプロファイルによる酸化膜解析 |
| EELSによる状態分析 | ||
| オージェ及びレーザラマンによるセラミックスの構造評価 | ||
| 断面の結晶構造 | XRD | 多層薄膜の深さ制御In-Plane回折測定 |
| FIB-SIM | SIM像によるチャネリングコントラスト | |
| 欠陥解析 | TEM、FIB-SIM | SIM像を用いたLSIの不良箇所の特定 |
