多層薄膜の深さ制御In-Plane回折測定

全反射臨界角度近傍の極めて低い照射角でＸ線を入射して得られる面内（In-Plane）回折Ｘ線により極表面の結晶構造が評価できます。この入射角度を精密に制御することにより、深さ方向での構造解析が可能となりましたので実施例を報告します。

下図に測定結果を示します。最表面にはAl金属、その下層にITO膜の存在が確認されました。それぞれのプロファイルを解析することにより、各層の結晶構造に関する情報（格子定数・配向性等）を導くことが可能です。

図：深さ制御In-Plane回折測定チャート