面内回折法による表面構造解析（2）

全反射臨界角度近傍の極めて低い照射角でＸ線を入射して得られる面内（In-Plane）回折法により極表面の結晶構造が評価できます。ハードディスクの性能を決めるCo合金磁性層のc軸に関する情報を本手法により測定した例を紹介します。

赤色と金色の測定チャートが図中に示す膜構造のハードディスクより得られたIn-Plane回折Ｘ線です。青色の通常のＸ線回折測定チャートでは観測できないCo合金磁性層のc軸：Co（002）が下地層に妨害されず明瞭に検出されています。このプロファイルによりハードディスクの性能を決定する重要な要素：格子定数や結晶性に関する情報が得られます。さらに、赤色は円周、金色は動径方向の格子面を反映しており、赤色のCo（002）が十分に出現していることから磁化方向であるc軸は円周方向に配向していることが判ります。

図：ハードディスク媒体のＸ線回折測定チャート