EELSによるシリコーン樹脂中のSiO₂の分布測定

EELSスペクトルより、化学状態に関する知見が得られることが知られています（技術資料：EELSによる状態分析）。EELSスペクトルマッピングを用いることで、異なる状態の分布が可視化できます。

図1にシリコーン樹脂とSiO₂のEELSスペクトルを示します。Si-OとSi-Cの結合を持つシリコーン樹脂はSiO₂よりも低エネルギー側に認められます。また、スペクトルの形状も異なり、伝道帯の状態密度の違いに起因すると考えられます。

両者のスペクトルの違いを用いて、EELSスペクトルマップを解析することにより、シリコーン樹脂中のSiO₂の分布を求めました（図2）。これより、シリコーン樹脂中に数十nmの粒状SiO₂が分散している様子が確認できました。

図1：シリコン樹脂（上）SiO₂（下）のEELSスペクトル

図2：EELSマップ (a) シリコン樹脂 (b) SiO₂ (c) 重ね合わせ像