HAADF-STEMによる結晶粒界の観察

HAADF-STEMとは、High Angle Annular Dark-Field Scanning Transmission Electron Microscopyの略です。電子線を細く絞り試料上を走査しながら、透過電子を検出することにより得られます。この時に、000透過波を検出すればBF（Bright-Field）-STEMとなりますし、回折波のみを検出すればDF（Dark-Field）-STEMとなります。

HAADF-STEMはDF-STEMに含まれますが、大きく散乱した電子のみを取り込むことにより、結晶の情報より組成の情報を引き出すことができます。Si3N4焼結体の粒界には焼結助剤であるAL-Y-Oが存在します。粒内組成（Si3N4）に比べて平均原子量が大きいため、HAADF-STEMで白く観察されています。

試料：Si3N4焼結体