デジタルマイクロスコープVHX-1000の同軸落射照明像

対象物の全体像から拡大像観察をする際、適切な照明を選ばなければなりません。対象物の表面情報として、微細な凹凸や照明により反射した部位を鮮明に観察することができます。通常の明視野に加えて同軸落射照明像を紹介します。

1.概要

金属鏡面や表面がなめらかな樹脂、半導体ウエハなど、正反射する対象物では、斜めからの照明では反射光がレンズに十分に入光せず、光量が不足することがある。そこで、レンズ方向から照明を垂直に照射するため、ハーフミラーを用いて、対象物に照射する照明の光軸とレンズの光軸を一致させます。それにより、金属表面の凹凸状態や組織の違いを観察することができます。

図1：同軸落射照明の概略図

2.事例：IC回路

暗視野像ではIC回路の金属部の表面状態や微細な凹凸が鮮明に観察されます。また、白色のラインやコンデンサーの黒色の表面状態なども鮮明に観察されます。

図2：同軸落射照明　暗視野写真