M231
電子回折（ED）パターンにおける結晶性
電子回折パターンは、測定範囲における試料の結晶性を反映します（表参照）。
- 【単結晶領域】
- 結晶方位や面間隔等に対応して回折した電子が回折スポットを形成し、幾何学的なパターンを示します。
- 【多結晶領域】
- 複数の結晶から得られる多数の回折スポットが同心円状のリング（デバイシェラーリング）を示します。
- 【非晶質領域】
- ハローリングと呼ばれるブロードなパターンを示します。
なお、各パターン中央のダイレクトスポットは、試料にて回折せず透過した電子が、対物レンズにより収束され形成するスポットを示します。ダイレクトスポットは強度が高いため、表中の電子回折パターン例ではビームストッパーで遮蔽しています。
| 単結晶領域 | 多結晶領域 | 非晶質領域 | |
| 電子線光路模式図 |  |
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| 電子回折 パターン例 |
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