M209

シリコンドリフト検出器による高感度EDSスペクトルマッピング測定

この度導入した球面収差補正STEM（JEM-ARM200F）には、EDS検出器として大面積（100mm²）のシリコンドリフト検出器が2機搭載されており、従来比（下記）で約7倍の高感度化が実現されました。これにより、高空間分解能で、高感度なEDSスペクトルマッピングが可能となり、大きさが僅か5nmの粒子の組成分布を評価することができました。

以下にPdPtコアシェル構造を有するコロイドナノ粒子での実施例を示します。

図（a）、（b）にコロイドナノ粒子の暗視野STEM像とコアシェル構造のモデル図を示します。次に、シリコンドリフト検出器×2機でのEDSマッピング結果を動画（上段）に、従来機 UTW型Si（Li）半導体検出器でのEDSマッピング結果を動画（下段）に示します（測定は同条件で実施）。動画（上段）では粒子のコアシェル構造に対応した組成分布が明瞭に観察されています。