卓上傾斜切削機

1. メーカー・型式

NEAT社製

2. 原理・特徴

卓上傾斜切削機は、試料表面を低角度で斜め切削することによって、垂直断面に対して深さ方向に約5〜300倍に拡大した分析面を得ることが可能な分析試料作製装置です。通常の有機物分析では困難な、塗装膜や多層フィルムなどのような薄い有機膜の評価を行う際に最適な試料前処理装置です。

	切削角αを小さくするほど、切削面の拡大倍率（深さ方向）を大きくすることができます。
写真：装置外観

3. 仕様

図：切削イメージ

4. 試料の形状、サイズ

• 板状（70×70×10mm以下）
• 分析対象の層が数100nm～数100μm程度の厚さが望ましい

5. 分析依頼時の留意点

• 無機物の切削は切削刃が破損する可能性がありますので事前に実験試料のご相談をお願いしております
• 拡大倍率は平滑な切断面が得られた場合の期待値ですので必ずしも倍率を保証するものではありません
• 切削箇所については表面形状測定を推奨しております

6. 適用材料・評価対象

• ポリマー：塗装膜、多層フィルム、機能性コーティング膜等
• 有機無機複合材：有機EL、電池材料等
• 樹脂包埋不可の試料：有機物中の有機成分の分析
• 10μmφ以下の異物：樹脂内部の目視可能な変色層

※上記以外の材料についてもお気軽にお問い合わせください

7. 適用分析手法

• 触針式表面形状測定器：斜め切断面の形状測定
• SEM：斜め切削面の形態観察、元素マッピング測定
• TOF-SIMS：斜め切削面の定性(微量元素分析)、元素マッピング測定
• XPS：斜め切削面の定性・半定量、ライン分析
• ラマン分光：斜め切削面の定性(構造情報)
• 顕微ATR：斜め切削面の有機物分析

8. 関連分析試料作製法（前処理法）

• 破断法
• 湿式・乾式研磨法
• ミクロトーム法
• イオン研磨（クロスセクションポリッシャ：CP）法
• FIB法