S427

透過型電子顕微鏡試料作製：ミクロトーム法

透過型電子顕微鏡（TEM）測定のためには、試料を電子線が透過する厚み（約100nm以下）に薄くする必要があります（参考資料：透過型電子顕微鏡試料作製方法）。その方法の一つとしてミクロトーム法を紹介します。

ポリマーや複合材料に対して、イオンダメージや熱ダメージなしに広範囲を観察できます。ただし、適応材料に制限があることと、機械的ダメージを考慮する必要があります。

図：ミクロトーム法