S1001
触針式表面形状測定器(Dektak 150)
1. 型式
株式会社アルバック製 Dektak 150
触針式表面形状測定器(Dektak 150)は直径150mm（サンプル厚：85mm）以下のSiウェハ、ガラス、その他の基板上に成膜された各種膜の膜厚段差、表面形状および、基板や膜表面の粗さやうねりなどの各種測定を行うことが出来る測定器です。風防ケースが、騒音、振動、埃および気流等の外部の影響から測定部を保護します。
2. 原理および特徴
触針の先端はダイヤモンドとなっており、精密な基準表面上を、サンプルステージが直線的に移動することにより、試料表面の段差、うねり、粗さなどの表面形状を高精度に測定することができます。サンプル表面の形状変化は触針の垂直方向の動きとして差動トランスにより検出され、その信号は積算型のA-Dコンバータによってアナログからデジタルに変換されます。デジタル化された信号は、コンピュータのメモリに保存され、水平調整・拡大等のデータ処理を行った後、表面形状のプロファイル、表面粗さなどの解析パラメータとして表示することができます。
装置外観
システム構成のブロック図
3. 主な性能、仕様、付属品
| 垂直方向分解能／測定レンジ | 0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm |
|---|---|
| 測定距離 | 50μm〜55mm |
| 膜厚測定再現性 | 1σ=0.6nm以下 |
| 測定時間 | 3〜200secの範囲で任意に設定可能 |
| 触針圧 | 0.03〜15mg（ローフォースセンター搭載：柔軟試料も測定可能） |
| サンプリングデータ数 | 最大60,000点 |
| 触針半径 | 2.5μmR、12.5μmR |
| 解析パラメータ |
|
4. 試料の形状、サイズ
サンプルステージサイズ：直径150mm（最大サンプル厚：85mm）
5. 応用分野、分析例
| 膜厚測定 | 基板上の蒸着膜 |
|---|---|
| 段差測定 | パターン付きウェハ表面 |
| 表面形状測定 | ポリマーフィルム表面 |
| 形状測定 | 傾斜切削面 |
| 粗さ測定 | プラズマ処理を施したAuめっき膜表面 |
