FIB-STEM法を用いた有機ELディスプレイの分析

有機EL（OLED：Organic Light Emitting Diode）ディスプレイは、高画質、高コントラストで、応答速度も速いため、パソコンやスマートフォン、ヘッドマウントディスプレイ、スマートグラスなど、様々な製品に利用されています。今回、FIB（Focused Ion Beam）- STEM（Scanning Transmission Electron Microscope）法を用いて、有機ELディスプレイの断面構造解析を行いましたので、以下に紹介します。

有機EL素子部の断面暗視野STEM（Scanning Transmission Electron Microscope）像を図1に示します。ガラス基材上に陽極（透明電極)、ホール輸送層（層1)、発光層（層2)、電子輸送層（層3)、陰極（Al、LiF）と考えられる層構造が観察されました。次に、EDS（Energy dispersive X-ray spectroscopy）マッピング分析結果を図2に示します。ホール輸送層、発光層、電子輸送層ではC / N / O比が異なることが示唆されました。これらの情報は、製品開発において、有益な情報となることが期待されます。また、本分析法を用いて、有機ELディスプレイの異物分析^[1] や欠陥解析^[2] を行うことも可能です。