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FIB-TEM法を用いたコーティング膜（表面処理膜）の分析

多くの製品の表面には、性能向上（硬度、耐摩耗性、耐腐食性、耐酸化性など）を目的とし、様々なコーティング（表面処理）が施されています。コーティングの組織構造は微細で、ナノメートルオーダーの評価を必要とする製品も多く存在します。以下に、収束イオンビーム（FIB：Focused Ion Beam）装置と透過電子顕微鏡（TEM：Transmission Electron Microscope）を用いたコーティングの評価事例を紹介します。

Siウエハ表面に成膜した模擬コーティング膜の断面明視野STEM（Scanning Transmission Electron Microscope）像、断面暗視野STEM像、EDS（Energy dispersive X-ray spectroscopy）マッピング分析結果を図1、図2、図3に示します。本結果から、コーティング膜の層構造（図1、図2）、膜厚（表）、組成（図3）、結晶性*について評価することが可能です。これらの情報は、製品開発において、有益な情報となることが期待されます。