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Arガスクラスターイオンビームを用いた有機膜のXPS深さ方向分析

有機薄膜太陽電池に用いられる有機膜（P3HT：PCBM、PEDOT：PSSの2層構造）について、通常のArイオン（Arモノマー）とArガスクラスターイオンを用いたXPS深さ方向分析を行い、膜中のSとOに顕著な違いが認められました。有機膜の深さ方向分析にはArガスクラスターイオンが有効であることが分かります。