透過型電子顕微鏡試料作製：Arミリング法

透過型電子顕微鏡（TEM）測定のためには、試料を電子線が透過する厚み（約100nm以下）に薄くする必要があります（参考資料：透過型電子顕微鏡試料作製方法）。その手法の一つとしてArミリング法を紹介します。

セラミックス、金属、基板上の各種薄膜に対して、イオンダメージが少なく薄い試料が作製できます。ただし、100℃程度の加熱、溶媒との接触があることと、広範囲の薄片化が困難であることを考慮する必要があります。

図：Arミリング法