AFMによる精密研磨面の表面形状比較

セラミックス等の表面を鏡面仕上げした試料において、光学顕微鏡では全く差異の認められない試料表面でも、原子間力顕微鏡（AFM）を用いて断面解析等を行うことにより、それらの差異を確認することができます。

図1：試料A（左）と試料B（右）の表面形態

例えば、図1に示す2試料（A、B）の試料表面形状には大きな差異がないように見られますが、図2に示すような断面解析を行うことにより、研磨表面の形態がよく分かり、ナノメートルオーダーの差異を明確にすることができます。また、表面粗さを求めたところ、試料Aでは0.25nm、試料Bでは0.57nmと試料Bのほうが粗くなっていることが分かり、図2と一致した結果が得られました。

図2：試料A（左）と試料B（右）の断面解析

以上のように、形態観察のみでは分かりにくい試料表面でも、AFMを用いて断面解析を行うことにより、差異を明確化することが可能です。