オージェ及びレーザラマンによるセラミックスの構造評価

水熱合成法を用いて成膜したPb（Zr、Ti）O₃膜の構造について調べるために、研磨法により膜断面を作製し、オージェ並びにレーザラマンを用いて分析を行いました。

図1は膜厚方向の組成（オージェ）及び構造（ラマン）の変化を調べたもので、試料表面より5〜6μmの領域では組成、構造ともに安定しているものの、Pb（Zr、Ti）O₃膜/Ti基板の界面部分で乱れが観測されました。Pb（Zr、Ti）O₃は組成や構造によって特性が変化するため、基板界面の乱れによる特性への影響が考えられます。

図1：水熱合成法により成膜したPb（Zr、Ti）O₃膜のオージェ電子分光およびラマン分光分析