EELSマッピング

電界放射型透過電子顕微鏡（日本電子製JEM-2010F）付属EELS（GATAN社製ENFINA1000）の新しい機能としてEELSマッピングが可能になりました。

市販LEDチップの基板界面を解析した例を以下に示します。GaN／基板界面を拡大した暗視野STEM像を図1に示します。図1中の「Spectrum Image」と記された領域について、ドリフト補正を行いながら50×50ピクセル（ピクセルサイズ1nm）のEELSスペクトルを得るスペクトラムイメージングを行いました（図2）。

スペクトラムイメージ各ピクセルからEELSスペクトルを抜き出すことが可能です。例えば、図2中の領域□の部分から抜き出したEELSスペクトル（図3）からはN、O、Alが確認できます。図2の全ピクセルについてバックグランド処理を行い、N-K、O-K、Ga-L、Al-Kの各ピークのカウント数を表示したEELSマッピングを図4に示します。Nが部分的に基板側に存在している様子（矢印部）が分かります。

	図2：EELSスペクトラムイメージ
図1：暗視野STEM像	図3：抽出EELSスペクトル
図4：EELSマッピング