STEM-EDSによるマッピング測定

電子線を細く絞り試料上を走査しながら、各点から発生した特性Ｘ線をEDS（Energy-Dispersive-Spectroscopy）検出器に取り込むことにより、試料の組成分布の情報を得ることができます。TEM測定では、SEM測定に見られる様な電子線の拡散が殆どないため、ナノメーターの空間分解能で測定が可能となります。

本マッピングデータは市販1G-HDD媒体を平面から分析した例です。HAADF-STEM（上段左）と同一視野で測定したCrとCoのマッピングデータ（下段）を示しました。さらに、この2つのマッピングデータを重ね合わせることにより（上段右）、約2nmの粒界部にCrが偏析していることが確認されました。