TOF-SIMSによるカラーフィルタ表面の分析

LCD、PDPなどのディスプレイ製造プロセスでは、種々の故障解析が必要になります。TOF-SIMSは試料最表面に存在する微量元素（〜ppm）の検出や有機物の構造情報を得ることができますので、フィルター表面の汚染分析に威力を発揮します。

ここでは、表示ムラが生じた画素周辺のカラーフィルター表面を分析した例を示します。図1にカラーフィルターの光学顕微鏡写真を示しましたが、カラーフィルター表面に明確な異常は観察されませんでした。しかし、2次イオン像（Total Ion像）には僅かなコントラストが観察され、このコンストラストはフィルター製造プロセスで用いられる有機成分由来のm/z=137が原因になっていることが分かりました。

図1：カラーフィルタの光学顕微鏡写真と2次イオン像