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オージェによるウエハ上のシミ部の分析

ウエハの表面汚染の一つにシミの発生があります。多くの場合、発生したシミは非常に薄く、EPMAやEDS分析では分析が困難です。ここでは、ウエハ上にみられるシミ状の異常箇所をオージェ（SAM）で分析した例を示します。
シミ部では正常部に比べC、Oが多く存在していることが分かります。なお、シミ部は30秒のアルゴンイオンエッチングで消失することから、シミ部の厚みは極めて薄い（数十Å）ものです。