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IRイメージング法による微小異物の分析（3）

図1：AxisPro（サンプリング）

図2：FTS-7000e（IR）

微小異物の分析では、一般に顕微FT-IR法が用いられます。しかし、10μm以下のサイズの異物を測定する際には、赤外光が弱くなりスペクトルを得ることができません。この場合、下記の装置を用い、金蒸着ミラー上に異物を採取し、IRイメージング法によって分析することが有効です。

サンプリング装置：マイクロサポート社製 AxisPro （図1）

マウスコントロールによりマイクロマニピュレーターを操作し、数μm程度の微小粒子を採取できます。

IR装置：Agilent Technologies社製 FTS-7000e （図2）

1ピクセル約1.1 μm角の検出器が二次元的に32×32個装備されており、すべての検出器で同時にスペクトルを測定することができます。

クリスタル	ゲルマニウム
測定範囲	900cm^-1～4,000cm^-1

紙上にある大きさ2μmのトナー（図3）を、金メッキプレート上にサンプリングし（図4）、IRイメージング法により分析しました。その結果、図5に示したように、良好なIRスペクトルを得ることができました。