AFMにおける解析パラメータ

原子間力顕微鏡（AFM）解析において、試料表面形状データとして二乗平均粗さ（Rq）、平均粗さ（Ra）、最大高低差（Rmax）がよく用いられますが、他にも、表面積（Surface Area）、表面積増加率（Surface Area Difference）、歪度（Skewness）、尖度（Kurtosis）等の解析パラメータを求めることもできます。

また、これら解析パラメータは測定エリア全体（下図赤枠内データ）だけでなく、任意の箇所、任意のサイズ（例：図に示したBox枠、0.5×0.5µm角）において（下図青枠内データ）の解析も可能です。

なお、これらの計算前にはデータのFlatten処理を行い、試料由来のX、Y方向の傾きや湾曲等を除去致します。

図：表面解析パラメータ例

解析エリアのサイズによってデータの値が変化することがよくありますので、試料間で比較される場合は、解析エリアのサイズ統一をお勧めいたします。