飛行時間型二次イオン質量分析計（TOF-SIMS）

1. メーカー・型式

アルバック・ファイ社製     TRIFT Ｖ nano TOF ™

2. 原理・特徴

1. 試料に10〜30kVで加速されたパルスイオンを照射し、試料表面から放出される二次イオンを飛行時間で質量分析することで、水素を含むすべての元素を高感度で検出できる。
2. クラスター対応型の一次イオン銃の採用により、高質量領域の高感度分析が可能になり、試料表面（局所）の有機物構造解析を行うことができる。
3. サブミクロンの分解能で面分析を行うことができる。

3. 性能・仕様・付属品

4. 試料形状・サイズ

固体（80mm×80mm×9mm（t）以下）

5. 分析依頼時の留意点

• 試料の取り扱いの際、試料表面の汚染に注意して下さい
• 真空中で揮発する試料は測定できません
• クリーンルーム仕様のため試料によっては分析をお断りする場合があります

6. 応用分野・分析例

• 有機材料の分析
• ポリマー表面の分析
• ウエハー表面の汚染分析
• 生体材料の分析