F1503
昇温脱離ガス質量分析装置（TDS-MS）
1. 装置
| メーカー | 電子科学 |
|---|---|
| 型式 | TDS 1200II |
2. 特徴
装置外観
1×10-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱離したガス成分は、電子イオン化法でイオン化されます。生成したイオンは四重極型の質量分析器にて検出されます。このm/z値から、水や水素などを定性し、定量することができます。
3. 仕様及び性能
| 測定質量範囲 | m/z 1〜200（Bar測定の場合：m/z 1〜199） |
|---|---|
| 質量分解能 | M/ΔM ≧ M |
| 試料加熱温度 | 〜1,200℃（標準）<〜1,300℃（最大）> |
| 大気フリー測定 | トランスファーベッセルを使用して対応可能 |
4. 測定試料
| 対象試料 | 主に無機化合物（金属、ガラス、セラミックなど） |
|---|---|
| 試料量サイズ | 15mm×15mm×5mm（最大） |
5. 留意点
| 試料 | 有機物で汚染された試料は不可。 ハロゲン原子（特にフッ素）が多く発生する試料は不可。 磁性体は不可。 |
|---|---|
| 取り扱い | 超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する。 |
6. 応用分野及び適用例
| 応用分野 | 適用例 |
|---|---|
| 水分管理 | 積層間絶縁膜、シリコンウエハなど |
| 無機ガス含量の確認 （H2、N2※、CO※、O2、CO2等） |
金属、セラミック、シリコンウエハなど |
| 汚染管理 | シリコンウエハ表面の汚染の確認 |
※区別できないため（いずれもm/z 28）、それぞれを最大の場合の値として算出。
