C1002

デジタルマイクロスコープ

1. メーカー・型式

キーエンス製 VHX-1000

試料を所定の位置にセットします。レンズを傾け、ステージを回転させ、視野範囲がズレることなく360度あらゆる方向からの観察が可能です。また、Z軸自動ヘッドの装着により、電動でピントを制御することが可能です。

超高精細観察	最高5,400万画素の超高精細な観察が可能（16bit階調取得）
深度合成	凹凸のある試料でもフォーカスの合った画像を積み重ねて合成した全焦点画像
3D画像連結	手動ステージで視野を移動させ、リアルタイムに連結するシステム
3Dプロファイル測定	任意のラインの高さプロファイルデータを求める

対象試料	高分子材料、異物　など
試料サイズ	5cm程度まで

プロファイル測定において、サブミクロン以下の凹凸の深さ精度は無い。

異物や正常部との比較で不具合部の色味を表現できなかった試料観察に効果がある。