昇温脱離ガス質量分析法
TDS-MS：Thermal Desorption Spectroscopy - Mass Spectrometry

1. 特　徴

• 試料から脱離するガス分子と発生温度、圧力との関係を知ることが可能です。
• 試料だけの加熱ができるため、バックグランドが低く、水素、水、酸素、窒素などの低質量分子の高感度分析（約1×10E13個分子・cm²レベル）が可能です。
• 試料からの発生ガス、脱離分子の成分推定及び定量（分子の数）分析が可能です。

2. 原理、概略図

1×10^-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱着したガス成分は電子衝撃法でイオン化されます。
生成したイオンは四重極電極の中を通過し、電極に印加する高周波電圧を変化させて得られる固有のm/zから水や水素などを定量します。

3. 仕様と性能

測定質量数	m/z =1〜200a.m.u
分解能	M/ΔM ≧ M
加熱温度	1,200℃（標準） 1,400℃（MAX）

トランスファーベッセル対応（大気フリー測定が可能）

4. 試料の形状、サイズ

試料サイズ	15mm×15mm×5mm（最大）

5. 分析依頼時の留意点

• 有機物で汚染された試料は不可
• ハロゲン原子（特にフッ素）が多く発生する試料は不可
• 超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する

6. 測定データ例

1） SCAN（定性）スペクトル

横軸は質量数（m/z）、縦軸は強度、斜めの軸は温度（℃）を示します。

2） MID（定量）スペクトル

水素（m/z = 2）、水（m/z = 18）の定量を行っています。横軸は温度（℃）を示します。

7. 適用例

• 積層間絶縁膜の水分管理
• H₂の脱離
• ドライエッチングの残渣確認